[发明专利]有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法

摘要

本发明提供了一种有机层沉积设备、一种通过利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法和一种通过该方法制造的有机发光显示装置，具体地讲，本发明提供了一种适合于在大基底的批量生产中使用的、能够实现高分辨率图案化的且能够控制图案化缝隙片和移动的基底之间的距离的有机层沉积设备、一种通过利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法以及一种通过所述方法制造的有机发光显示装置。 1

主权项

1.一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：输送单元，包括用于固定基底并且被构造为与基底一起移动的传送单元、用于将其上固定有基底的传送单元沿第一方向移动的第一输送单元和用于在已经完成沉积之后将基底从其分开的传送单元沿与第一方向相反的方向移动的第二输送单元；加载单元，将基底固定在传送单元上；沉积单元，包括保持在真空状态下的室以及用于在固定在从加载单元传送的传送单元上的基底上沉积有机层的有机层沉积组件；以及卸载单元，将在穿过沉积单元的同时已经对其完成了沉积的基底与传送单元分开，其中，传送单元被构造为在第一输送单元和第二输送单元之间循环移动，其中，固定在传送单元上的基底被构造为在被第一输送单元传送的同时与有机层沉积组件分隔开设定距离，并且其中，有机层沉积组件包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，位于沉积源的侧面处并包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，面对沉积源喷嘴单元并包括沿一个方向布置的多个图案化缝隙；以及间隙测量单元，用于测量基底和图案化缝隙片之间的间隙，其中，沉积源被构造为排放沉积材料以使沉积材料穿过图案化缝隙片，从而以特定图案沉积在基底上，其中，间隙测量单元包括：第一间隙测量部件，未设置在图案化缝隙片上且设置在从图案化缝隙片延伸的虚平面上；以及第二间隙测量部件，设置在图案化缝隙片上，其中，第一间隙测量部件包括第一间隙测量单元和第六间隙测量单元，第二间隙测量部件包括第二间隙测量单元、第三间隙测量单元、第四间隙测量单元和第五间隙测量单元，第一间隙测量单元、第二间隙测量单元和第三间隙测量单元被构造为使得连接第一间隙测量单元、第二间隙测量单元和第三间隙测量单元的虚线形成三角形，并且第四间隙测量单元、第五间隙测量单元和第六间隙测量单元被构造为使得连接第四间隙测量单元、第五间隙测量单元和第六间隙测量单元的虚线形成三角形。