[发明专利]有机层沉积设备、有机发光显示装置及其制造方法

说明书

本发明提供了一种有机层沉积设备、一种通过利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法和一种通过该方法制造的有机发光显示装置，具体地讲，本发明提供了一种适合于在大基底的批量生产中使用的、能够实现高分辨率图案化的且能够控制图案化缝隙片和移动的基底之间的距离的有机层沉积设备、一种通过利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法以及一种通过所述方法制造的有机发光显示装置。

本申请要求于2012年11月9日提交到韩国知识产权局的第10-2012-0126942号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的公开内容通过引用被完全包含于此。

技术领域

下面的描述涉及一种有机层沉积设备、一种通过利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法和一种通过该方法制造的有机发光显示装置，具体地讲，涉及一种适合于在大基底的批量生产中使用的、能够实现高分辨率图案化的且能够测量并恒定地保持彼此相对移动的基底和图案化缝隙片之间的间隙的有机层沉积设备、一种通过利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法以及一种通过所述方法制造的有机发光显示装置。

背景技术

与其它显示装置相比，有机发光显示装置具有更宽的视角、更好的对比度特性和更快的响应速度，因此已经作为下一代显示装置而受到关注。

有机发光显示装置包括设置在第一电极和第二电极之间的中间层（包括发射层）。可以利用各种方法来形成电极和中间层，这些方法之一是独立沉积方法。当通过利用沉积方法制造有机发光显示装置时，将具有与将要形成的有机层的图案相同图案的精细金属掩模（FMM）设置为与其上将形成有机层等的基底紧密接触，将有机层材料沉积在FMM上，以形成具有期望图案的有机层。

然而，利用这种FMM的沉积方法在利用大的母玻璃制造较大的有机发光显示装置时存在困难。例如，当使用这种大的掩模时，掩模会由于重力牵引力而弯曲，从而使其图案扭曲。这样的缺点不利于朝着高分辨率图案发展的近期趋势。

另外，将基底与FMM对准以彼此紧密接触、对其执行沉积并将FMM与基底分开的工艺耗费时间，导致制造时间长并且生产效率低。

在本背景技术部分公开的信息对于本发明的发明人来说在实现本发明之前是已知的，或者所述信息是在实现本发明的过程中获得的技术信息。因此，它可能包含对于本领域普通技术人员来说在本国不构成已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明实施例的多个方面涉及一种适合于在大基底的批量生产中使用的、能够实现高分辨率图案化的且能够控制图案化缝隙片和移动的基底之间的距离的有机层沉积设备、一种通过利用该有机层沉积设备制造有机发光显示装置的方法以及一种通过所述方法制造的有机发光显示装置。

根据本发明的实施例，提供了一种有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：输送单元，包括用于固定基底并且被构造为与基底一起移动的传送单元、用于将其上固定有基底的传送单元沿第一方向移动的第一输送单元和用于在已经完成沉积之后将基底从其分开的传送单元沿与第一方向相反的方向移动的第二输送单元；加载单元，将基底固定在传送单元上；沉积单元，包括保持在真空状态下的室以及用于在固定在从加载单元传送的传送单元上的基底上沉积有机层的有机层沉积组件；以及卸载单元，将在穿过沉积单元的同时已经对其完成了沉积的基底与传送单元分开，其中，传送单元被构造为在第一输送单元和第二输送单元之间循环移动，固定在传送单元上的基底被构造为在被第一输送单元传送的同时与有机层沉积组件分隔开设定距离，其中，有机层沉积组件包括：沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，位于沉积源的侧面处并包括多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，面对沉积源喷嘴单元并包括沿一个方向布置的多个图案化缝隙；以及间隙测量单元，用于测量基底和图案化缝隙片之间的间隙，其中，从沉积源排放的沉积材料穿过图案化缝隙片，从而以特定图案沉积在基底上。

间隙测量单元可以包括：第一间隙测量部件，未设置在图案化缝隙片上且设置在从图案化缝隙片延伸的虚平面上；以及第二间隙测量部件，设置在图案化缝隙片上。