[发明专利]化合物半导体器件及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201310180255.6 申请日: 2013-05-15
公开(公告)号: CN103515429A 公开(公告)日: 2014-01-15
发明(设计)人: 朱雷 申请(专利权)人: 富士通株式会社
主分类号: H01L29/778 分类号: H01L29/778;H01L29/10;H01L21/335;H02M3/335
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王萍;陈炜
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供了一种化合物半导体器件及其制造方法,功率供应电路和高频放大器,其中化合物半导体器件包括:化合物半导体区域,具有其中形成阶梯的表面;第一电极,形成为位于阶梯的上表面的上方,上表面为非极性面;以及第二电极,沿着阶梯的侧表面形成为在竖直方向上与第一电极间隔开,侧表面是极性面。
搜索关键词: 化合物 半导体器件 及其 制造 方法
【主权项】:
一种化合物半导体器件,包括:化合物半导体区域,具有其中形成阶梯的表面;第一电极,形成在所述阶梯的上表面的上方,所述上表面为非极性面;以及第二电极,沿着所述阶梯的侧表面形成,从而在竖直方向上与所述第一电极间隔开,所述侧表面是极性面。
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