[发明专利]化合物半导体器件及其制造方法有效
申请号: | 201310180255.6 | 申请日: | 2013-05-15 |
公开(公告)号: | CN103515429A | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 朱雷 | 申请(专利权)人: | 富士通株式会社 |
主分类号: | H01L29/778 | 分类号: | H01L29/778;H01L29/10;H01L21/335;H02M3/335 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王萍;陈炜 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供了一种化合物半导体器件及其制造方法,功率供应电路和高频放大器,其中化合物半导体器件包括:化合物半导体区域,具有其中形成阶梯的表面;第一电极,形成为位于阶梯的上表面的上方,上表面为非极性面;以及第二电极,沿着阶梯的侧表面形成为在竖直方向上与第一电极间隔开,侧表面是极性面。 | ||
搜索关键词: | 化合物 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种化合物半导体器件,包括:化合物半导体区域,具有其中形成阶梯的表面;第一电极,形成在所述阶梯的上表面的上方,所述上表面为非极性面;以及第二电极,沿着所述阶梯的侧表面形成,从而在竖直方向上与所述第一电极间隔开,所述侧表面是极性面。
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