[发明专利]电调制MEMS 红外光源及其制备方法无效
| 申请号： | 201310124547.8 | 申请日： | 2013-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN103332648A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 纪新明;黄宜平;吴东平 | 申请（专利权）人： | 南京曼莫斯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 210042 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及红外技术领域，公开了一种电调制MEMS红外光源及其制备方法。本发明中，选用四边固支结构，利用固定在支撑薄膜上的发热电极产生对外的红外辐射能量，使得电调制MEMS红外光源的结构稳固，工作性能稳定，占空比高，且制作工艺简单，成本低，便于实现大批量廉价生产。 | ||
| 搜索关键词： | 调制 mems 红外 光源 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种电调制MEMS红外光源，其特征在于，包含：衬底、支撑薄膜层、发热电极；其中，所述支撑薄膜层覆盖于所述衬底之上，所述衬底与所述支撑薄膜层的连接采用四边固支结构；所述发热电极固定在所述支撑薄膜层之上，位于所述衬底中间被挖空的部分。
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