[发明专利]包括二向色性光束组合器的光学发射系统有效
| 申请号： | 201310111452.2 | 申请日： | 2013-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN103376158B | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·鲍里斯;孙寅生;林帝赛·巴克;吉琳·拉塞尔 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/443 | 分类号： | G01J3/443 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司11258 | 代理人： | 李晓冬 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种包括二向色性光束组合器的光学发射系统。一种光学发射光谱仪系统(100，200)包括光源(101)和二向色性光束组合器(130)。光源在第一方向上发射第一光(115)并且在不同于所述第一方向的第二方向上发射第二光(125)。二向色性光束组合器经由第一光路(110)接收所述第一光并且经由第二光路(120)接收所述第二光，反射一部分所述第一光进入光检测及测量装置(140)的入口孔(145)，并且透射一部分所述第二光进入所述入口孔，使得能够同时分析并且测量第一光和第二光两者的特性。被反射进入所述入口孔的所述第一光的部分主要具有第一波长范围内的波长，并且被透射进入所述入口孔的所述第二光的部分主要具有不同于所述第一波长范围的第二波长范围内的波长。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 二向色性 光束 组合 光学 发射 系统 | ||
【主权项】：
一种光学发射光谱仪系统(100，200)，包括：光源(101)，被配置为在第一方向上发射第一光(115)并且在不同于所述第一方向的第二方向上发射第二光(125)，所述第一光和所述第二光受到光检测及测量装置(140)进行的波长和强度检测；以及二向色性光束组合器(130，231)，被配置为经由第一光路(110)接收所述第一光并且经由第二光路(120)接收所述第二光，以便反射所述第一光的一部分进入所述光检测及测量装置(140)的入口孔(145)，并且透射所述第二光的一部分进入所述入口孔，其中，被反射进入所述入口孔的所述第一光的一部分主要具有第一波长范围内的波长，并且被透射进入所述入口孔的所述第二光的一部分主要具有不同于所述第一波长范围的第二波长范围内的波长。
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