[发明专利]单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法有效
| 申请号： | 201310066530.1 | 申请日： | 2013-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN103176231A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 陈赟;王显军;李艳茹;张胜红;陈宝刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 王丹阳 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法，属于基于干涉条纹的光学计量领域，解决了现有技术中反射式金属光栅信号对比度低、线条牢固度差、无法工程化，且制作工艺复杂、成本高的技术问题。本发明的单层膜反射式平面金属光栅，包括金属基底，镀在所述金属基底上的非反射层和反射层，非反射层与反射层均为铬膜，非反射层的厚度比反射层的厚度小。本发明还提供单层膜反射式平面金属光栅的制作方法。本发明的单层膜反射式平面金属光栅采用单层镀膜，制作出的光栅线条较细(≤10μm)、信号对比度大(＞2∶1)、非反射层和反射层的牢固度好、易于工程化，且制作方法简单、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 单层 反射 平面 金属 光栅 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
单层膜反射式平面金属光栅，包括：金属基底(1)；镀在所述金属基底(1)上的非反射层(4)和反射层(5)；其特征在于，非反射层(4)与反射层(5)均为铬膜，非反射层(4)的厚度比反射层(5)的厚度小。
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