[发明专利]一种射频MEMS开关及其形成方法有效
| 申请号： | 201310066388.0 | 申请日： | 2013-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN103177904A | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;赵晨旭 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H11/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100084 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种射频MEMS开关及其形成方法，该开关包括：衬底；形成在衬底上的隔离层；形成在隔离层之上的驱动电极和微波信号共面波导传输线，其中，微波信号共面波导传输线具有开关接触点和锚区，开关接触点的位置与金属悬梁臂的自由端相对应，锚区与金属悬梁臂的固定端相连；以及形成在微波信号共面波导传输线之上的金属悬梁臂，其中，开关接触点由铜薄膜和形成在铜薄膜上的石墨烯薄膜组成，当驱动电极未施加驱动电压时，金属悬梁臂与开关接触点断开，使开关为关闭状态，当驱动电极施加驱动电压时，金属悬梁臂与驱动电极之间产生静电力，使金属悬梁臂弯曲后与开关接触点接触，使开关为开启状态。本发明具有热失效降低，开关功率容量高的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 mems 开关 及其 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种射频MEMS开关，其特征在于，包括：衬底；形成在所述衬底之上的隔离层；形成在所述隔离层之上的驱动电极和微波信号共面波导传输线，其中，所述微波信号共面波导传输线具有开关接触点和锚区，所述开关接触点的位置与所述金属悬梁臂的自由端相对应，所述锚区与所述金属悬梁臂的固定端相连；以及形成在所述微波信号共面波导传输线之上的金属悬梁臂，其中，所述开关接触点由铜薄膜和形成在所述铜薄膜之上的石墨烯薄膜组成，当所述驱动电极未施加驱动电压时，所述金属悬梁臂与所述开关接触点断开，使所述射频MEMS开关为关闭状态，当所述驱动电极施加驱动电压时，所述金属悬梁臂与所述驱动电极之间产生静电力，使所述金属悬梁臂弯曲后与所述开关接触点接触，使所述射频MEMS开关为开启状态。
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