[发明专利]用于在半导体制造过程中监测泵的操作的计算机系统有效
| 申请号： | 201310053498.3 | 申请日： | 2007-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN103133331A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | G·贡内拉;J·塞德罗恩;P·马贡 | 申请（专利权）人： | 恩特格里公司 |
| 主分类号： | F04B51/00 | 分类号： | F04B51/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 蒋旭荣 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请公开了一种用于在半导体制造过程中监测泵的操作的计算机系统，包括：建立用于流体泵的基线型面的装置，其中，在所述流体泵的操作过程中，通过测量在一个或多个点处的参数而产生所述基线型面；在所述流体泵的随后操作过程中，通过测量在一个或多个点处的所述参数而产生与流体泵的参数相对应的操作型面的装置；以及确定至少一个拟合优度测量的值的装置，以便确定所述基线型面能多好地预测所述操作型面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 半导体 制造 过程 监测 操作 计算机系统 | ||
【主权项】：
一种用于在半导体制造过程中监测泵的操作的计算机系统，包括：建立用于流体泵的基线型面的装置，其中，在所述流体泵的操作过程中，通过测量在一个或多个点处的参数而产生所述基线型面；在所述流体泵的随后操作过程中，通过测量在一个或多个点处的所述参数而产生与流体泵的参数相对应的操作型面的装置；以及确定至少一个拟合优度测量的值的装置，以便确定所述基线型面能多好地预测所述操作型面。
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