[发明专利]搬运装置无效
| 申请号： | 201310036216.9 | 申请日： | 2013-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN103247557A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 古市昌稔;日野一纪 | 申请（专利权）人： | 株式会社安川电机 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;王小东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及搬运装置，该搬运装置包括：搬运室，所述搬运室设置有与外界连通的多个连接口部；多关节机器人，所述多关节机器人被放置在所述搬运室内；以及线性移动机构，所述线性移动机构至少使得所述多关节机器人的臂部沿所述搬运室的短侧方向线性地移动。所述多关节机器人的所述臂部的底端经由臂支轴设置在基座上以能够水平旋转，并且所述臂部的前端设置有手，所述手能够水平旋转并且保持待经由所述连接口部被运入和运出的基板。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 装置 | ||
【主权项】：
一种搬运装置，所述搬运装置包括：搬运室，所述搬运室具有由壁围绕的大致长方体的基板搬运空间，并且所述搬运室设置有多个连接口部，这些连接口部与外界连通并且形成于周壁的长侧壁中；多关节机器人，所述多关节机器人被放置在所述搬运室内并且包括臂部，所述臂部的底端经由臂支轴设置在基座上以能够水平旋转，并且所述臂部的前端设置有手，所述手能够水平旋转并且保持待经由所述连接口部被运入和运出的基板；以及线性移动机构，所述线性移动机构至少使得所述多关节机器人的所述臂部沿所述搬运室的短侧方向线性地移动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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