[发明专利]搬运装置

说明书

技术领域

本文所讨论的实施方式涉及搬运装置。

背景技术

已知一种常规搬运装置，该搬运装置将多关节搬运机器人放置在称为EFEM（设备前端模块）的搬运室中，所述多关节搬运机器人搬运用于半导体晶片或液晶面板的基板。

常规搬运装置的搬运室具有由壁围绕的大致长方体形状。构成周壁的一部分的长侧壁设置有与外界连通的多个连接口部。基板的收纳容器和处理室借助这些连接口部彼此连通。

放置在搬运室中的多关节机器人通常设置成靠近搬运室的一个侧壁。在本文中，通用多关节机器人包括臂部，所述臂部包括：第一臂，该第一臂的底端经由第一支轴连接在基座上；以及第二臂，该第二臂的底端经由第二支轴连接到第一臂的前端，并且第二臂的前端设置有手。该多关节机器人驱动臂部和手，以使得手接近收纳容器以及处理室。

该常规技术已知如在日本特开专利公报No.2008-28134中被公开。

然而，当常规搬运装置使得手接近位于靠近第一臂的回转中心的位置处的收纳容器和处理室时，围绕第一支轴的角速度变大，这是因为其距离是短的。因此，当将手移动到靠近第一臂的回转中心的位置时，必须抑制回转速度，并且因此由搬运装置搬运的板的数量（吞吐量）不会增加。

鉴于上述问题而得到本发明，并且本发明的目的在于提供一种有助于提高待被搬运的板的数量（吞吐量）的搬运装置。

发明内容

根据实施方式的一方面的搬运装置包括：搬运室，所述搬运室设置有与外界连通的多个连接口部；多关节机器人，所述多关节机器人被放置在所述搬运室内；以及线性移动机构，所述线性移动机构使得所述多关节机器人的至少臂部沿所述搬运室的短侧方向线性地移动。所述搬运室具有由壁围绕的大致长方体的基板搬运空间，并且所述搬运室设置有形成于周壁的长侧壁中的所述多个连接口部。所述多关节机器人的所述臂部的底端经由臂支轴设置在基座上以能够水平旋转，并且所述臂部的前端设置有手，所述手能够水平旋转并且保持待经由所述连接口部被运入和运出的基板。

根据本发明的一方面，可以有助于提高待由该搬运装置搬运的板的数量（吞吐量）。

附图说明

通过参考结合附图考虑时的下面详细描述，将容易获得并更好地理解对本发明的更全面认识以及本发明的许多附带优点，在附图中：

图1是根据实施方式的搬运装置的示意性平面图；

图2是搬运装置的示意性侧视图；

图3是包括在搬运装置中的多关节机器人的示意性说明图；

图4是搬运装置的框图；

图5A和图5B是示出搬运装置的搬运操作的示例的示意性说明图；

图6是示出由搬运装置执行的基板搬运过程的示例的示意性说明图；

图7是示出由根据比较例的搬运装置执行的基板搬运过程的示例的示意性说明图；

图8是示出包括在搬运装置中的多关节机器人的姿势的示例的示意性说明图；以及

图9是示出包括在根据另一实施方式的搬运装置中的多关节机器人的示意性说明图。

具体实施方式

在下文中，将参考附图详细地描述根据本公开内容的实施方式的搬运装置。此外，下文所公开的实施方式并不旨在限制本发明。

首先，将参考图1至图4说明根据实施方式的搬运装置10。图1是根据本实施方式的搬运装置10的示意性平面图。图2是搬运装置10的示意性侧视图。图3是包括在搬运装置10中的多关节机器人2的示意性说明图。图4是搬运装置10的框图。

如图1和图2所示，搬运装置10包括：搬运室1，所述搬运室设置有与外界连通的多个连接口部11；以及多关节机器人2，所述多关节机器人被放置在搬运室1中，并且能搬运用于半导体晶片或液晶面板的基板4。

搬运室1通常是被称为EFEM（设备前端模块）的局部清洁室，并且具有由壁围绕的大致长方体的基板搬运空间170。这些壁包括第一长侧壁110、第二长侧壁120、第一短侧壁130、第二短侧壁140、顶壁150以及底壁160。在本文中，第一长侧壁110、第二长侧壁120、第一短侧壁130、第二短侧壁140可被称为周壁。此外，底壁160的下表面设置有腿部180，所述腿部将搬运室1支承在安装面100上。

搬运室1在顶壁150内设置有过滤器单元190，在该过滤器单元中收纳用于净化气体的过滤器。在搬运室1与外界隔离的状态下，该搬运室由过滤单元190净化并且通过利用落下的净化气流来清洁其内部。