[发明专利]搬运装置

权利要求书

1.一种搬运装置，所述搬运装置包括：

搬运室，所述搬运室具有由壁围绕的大致长方体的基板搬运空间，并且所述搬运室设置有多个连接口部，这些连接口部与外界连通并且形成于周壁的长侧壁中；

多关节机器人，所述多关节机器人被放置在所述搬运室内并且包括臂部，所述臂部的底端经由臂支轴设置在基座上以能够水平旋转，并且所述臂部的前端设置有手，所述手能够水平旋转并且保持待经由所述连接口部被运入和运出的基板；以及

线性移动机构，所述线性移动机构至少使得所述多关节机器人的所述臂部沿所述搬运室的短侧方向线性地移动。

2.根据权利要求1所述的搬运装置，所述搬运装置还包括控制装置，所述控制装置执行所述多关节机器人的操作控制以及所述线性移动机构的操作控制，所述多关节机器人的所述操作控制包括所述臂部的旋转操作。

3.根据权利要求2所述的搬运装置，其中，所述控制装置控制所述线性移动机构，以至少使得所述多关节机器人的所述臂部选择性地移动到靠近第一长侧壁的第一作业位置或靠近第二长侧壁的第二作业位置。

4.根据权利要求2所述的搬运装置，其中，所述控制装置控制所述线性移动机构，以至少使得所述多关节机器人的所述臂部移动到位于靠近第一长侧壁的第一作业位置和靠近第二长侧壁的第二作业位置之间的任意位置。

5.根据权利要求2所述的搬运装置，其中，

所述臂部包括：

第一臂，所述第一臂的底端经由第一支轴连接在所述基座上；以及

第二臂，所述第二臂的底端经由第二支轴连接到所述第一臂的前端，并且所述第二臂的前端设置有手，并且

所述控制装置根据由所述线性移动机构移动的所述臂部的位置来控制所述第一臂和所述第二臂中的两者或一者的旋转操作。

6.根据权利要求3所述的搬运装置，其中，

所述臂部包括：

第一臂，所述第一臂的底端经由第一支轴连接在所述基座上；以及

第二臂，所述第二臂的底端经由第二支轴连接到所述第一臂的前端，并且所述第二臂的前端设置有手，并且

所述控制装置根据由所述线性移动机构移动的所述臂部的位置来控制所述第一臂和所述第二臂中的两者或一者的旋转操作。

7.根据权利要求4所述的搬运装置，其中，

所述臂部包括：

第一臂，所述第一臂的底端经由第一支轴连接在所述基座上；以及

第二臂，所述第二臂的底端经由第二支轴连接到所述第一臂的前端，并且所述第二臂的前端设置有手，并且

所述控制装置根据由所述线性移动机构移动的所述臂部的位置来控制所述第一臂和所述第二臂中的两者或一者的旋转操作。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的搬运装置，其中，所述线性移动机构包括线性致动器，所述线性致动器连接到所述基座并且使得所述多关节机器人与所述基座一起移动。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的搬运装置，其中，所述线性移动机构包括线性致动器，所述线性致动器在所述基座和所述多关节机器人的所述臂部之间连接到所述臂部，并且所述线性移动机构仅移动所述臂部。