[发明专利]物理量传感器以及电子设备有效
| 申请号： | 201310022516.1 | 申请日： | 2013-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN103226153B | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 与田光宏 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,于英慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供物理量传感器以及电子设备，能够简化制造工序、并且可靠性高。本发明的物理量传感器（100）具有基板（10）；摆动体（20），其设置在基板（10）的上方；支撑部（40、42），其支撑摆动体（20），沿着第1轴进行配置；以及检测电极（50、52），其设置于基板（10），与摆动体（20）相对配置，摆动体（20）具有与第2轴交叉的一对侧面，该第2轴在平面中与所述第1轴垂直，在所述一对侧面的至少一方，设置有突起部（30）。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 以及 电子设备 | ||
【主权项】：
一种物理量传感器，其包含：基板；摆动体，其设置在所述基板上方；支撑部，其支撑所述摆动体，沿着第1轴进行配置；以及检测电极，其设置于所述基板，与所述摆动体相对配置，所述摆动体具有与第2轴交叉的侧面，该第2轴在平面中与所述第1轴垂直，在所述侧面的至少一部分，设置有在所述平面内延伸的突起部，所述突起部和所述摆动体是通过对一个基板进行图形化而一体形成的，在所述摆动体的周围配置有框体，所述摆动体通过所述支撑部与所述框体隔开而连接，所述摆动体和所述突起部的外侧缘与所述框体的内侧缘之间的空隙宽度均匀。
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