[发明专利]物理量传感器以及电子设备

权利要求书

1.一种物理量传感器，其包含：

基板；

摆动体，其设置在所述基板上方；

支撑部，其支撑所述摆动体，沿着第1轴进行配置；以及

检测电极，其设置于所述基板，与所述摆动体相对配置，

所述摆动体具有与第2轴交叉的侧面，该第2轴在平面中与所述第1轴垂直，

在所述侧面的至少一部分，设置有在所述平面内延伸的突起部，

所述突起部和所述摆动体是通过对一个基板进行图形化而一体形成的，

在所述摆动体的周围配置有框体，

所述摆动体通过所述支撑部与所述框体隔开而连接，

所述摆动体和所述突起部的外侧缘与所述框体的内侧缘之间的空隙宽度均匀。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，

该物理量传感器包含电极，该电极设置于所述基板的所述检测电极的配置区域的外侧，并且与所述摆动体相对配置，

所述电极与所述摆动体电连接。

3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其中，

所述突起部在平面视图中，不与所述检测电极和所述电极重叠。

4.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述突起部的平面形状的末端为尖头状。

5.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述突起部的平面形状的末端为圆弧状。

6.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述摆动体的平面形状为矩形，并具有与所述第2轴交叉的第1侧面和第2侧面，

在利用通过所述第1侧面的所述第1轴方向的宽度中心的所述第2轴将所述第1侧面划分为第1区域和第2区域时，在所述第1区域和所述第2区域中分别设置有所述突起部。

7.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述摆动体在以所述第1轴为界时在一方区域和另一方区域中质量不同。

8.根据权利要求7所述的物理量传感器，其中，

所述检测电极包含配置于与所述摆动体的所述一方区域相对的位置的第1检测电极、和配置于与所述摆动体的所述另一方区域相对的位置的第2检测电极。

9.一种电子设备，其中，该电子设备包含权利要求1所述的物理量传感器。