[发明专利]物理量传感器以及电子设备

说明书

技术领域

本发明涉及物理量传感器以及电子设备。

背景技术

近年来，开发了例如使用硅MEMS（Micro Electro Mechanical System：微电子机械系统）技术检测物理量的惯性传感器等物理量传感器。

例如，在专利文献1中，公开了利用旋转动作（杠杆摆动）检测Z轴方向的加速度的杠杆型的物理量传感器。专利文献1的物理量传感器具备导电性板、和具有质量不同的第1和第2区域的保证质量，该保证质量根据Z轴方向的加速度，绕分离第1和第2区域的挠性轴旋转。专利文献1的物理量传感器根据由于该保证质量的旋转产生的、导电性板与保证质量之间的静电电容的变化检测加速度。

此外，专利文献1的物理量传感器具有用于限制保证质量的旋转的保护屏蔽板、和朝向该保护屏蔽板突出的止挡件。由此，防止导电性板与保证质量接触，从而提高可靠性。

【专利文献1】日本特开2008-529001号公报

但是，在专利文献1的物理量传感器中，必须通过在保证质量上堆积预定的材料，并进行图形化来形成止挡件，存在制造工序复杂化的问题。

发明内容

本发明的几个方式的目的之一在于提供能够简化制造工序、并且可靠性高的物理量传感器。本发明的几个方式的目的之一还在于提供包含上述物理量传感器的电子设备。

本发明正是为了解决上述课题中的至少一部分而完成的，可作为以下方式或应用例来实现。

[应用例1]

本应用例的物理量传感器包含：

基板；

摆动体，其设置在所述基板的上方；

支撑部，其支撑所述摆动体，沿着第1轴进行配置；以及

检测电极，其设置于所述基板，与所述摆动体相对配置，

所述摆动体具有与第2轴交叉的一对侧面，该第2轴在平面中与所述第1轴垂直，

在所述一对侧面的至少一部分，设置有在所述平面内延伸的突起部。

根据这种物理量传感器，能够在产生较大的加速度的情况下，防止摆动体与基板碰撞。因此，能够防止摆动体的损伤，能够提高可靠性。并且，将突起部设置于摆动体的侧面，因此例如能够通过对1个基板进行图形化来形成摆动体和突起部。因此，能够简化制造工序。

[应用例2]

在本应用例的物理量传感器中，

可以包含电极，该电极设置于所述基板的所述检测电极的配置区域的外侧，并且与所述摆动体相对配置，

所述电极与所述摆动体电连接。

根据这种物理量传感器，能够将摆动体和电极设为相等电位，能够防止摆动体粘贴到基板。

[应用例3]

在本应用例的物理量传感器中，

可以是所述突起部在平面视图中，不与所述检测电极和所述电极重叠。

根据这种物理量传感器，能够在突起部与基板碰撞时，防止检测电极和电极损伤。

[应用例4]

在本应用例的物理量传感器中，

可以是所述突起部的平面形状的末端为尖头状。

根据这种物理量传感器，能够减小突起部与基板的接触面积，能够防止摆动体（突起部）粘贴到基板。

[应用例5]

在本应用例的物理量传感器中，

可以是所述突起部的平面形状的末端为圆弧状。

根据这种物理量传感器，能够减小突起部与基板的接触面积，能够防止摆动体（突起部）粘贴到基板。

[应用例6]

在本应用例的物理量传感器中，

可以是所述突起部与所述摆动体设置成一体。

根据这种物理量传感器，能够简化制造工序。

[应用例7]

在本应用例的物理量传感器中，

可以是所述摆动体的平面形状为矩形，并具有与所述第2轴交叉的第1侧面和第2侧面，

在利用通过所述第1侧面的所述第1轴方向的宽度中心的所述第2轴将所述第1侧面划分为第1区域和第2区域时，在所述第1区域和所述第2区域中分别设置有所述突起部。

根据这种物理量传感器，能够更可靠地防止摆动体与基板碰撞。

[应用例8]

在本应用例的物理量传感器中，

可以在所述摆动体的周围配置有框体，

所述摆动体通过所述支撑部与所述框体隔开而连接，

所述摆动体和所述突起部的外侧缘与所述框体的内侧缘之间的空隙宽度均匀。