[发明专利]自动储存器与储存电路板的方法无效
| 申请号： | 201310014587.7 | 申请日： | 2008-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN103151286A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 安德烈亚·贝茨尼 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 意大利圣比亚*** | 国省代码： | 意大利;IT |
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| 摘要： | 本发明公开自动储存器与储存电路板的方法。所公开的用于储存板的设备包括：带，所述带沿第一平面布置；多个收集装置，当位于载入位置时，所述多个收集装置沿着所述带的至少一侧布置成第一列和邻近所述第一列的第二列；一个或多个转运台，所述一个或多个转运台布置在所述第一平面上方；以及移动单元，所述移动单元布置在所述第一平面下方一垂直距离处的第二平面内，其中所述移动单元包括：多个横向皮带，每一横向皮带布置在第二平面内，其中每一横向皮带从所述收集装置的所述第一列和所述第二列横向地布置。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 储存器 储存 电路板 方法 | ||
【主权项】：
一种用于储存板的设备，包括：带，所述带沿第一平面布置；多个收集装置，当位于载入位置时，所述多个收集装置沿着所述带的至少一侧布置成第一列和邻近所述第一列的第二列；一个或多个转运台，所述一个或多个转运台布置在所述第一平面上方；以及移动单元，所述移动单元布置在所述第一平面下方一垂直距离处的第二平面内，其中所述移动单元包括：多个横向皮带，每一横向皮带布置在第二平面内，其中每一横向皮带从所述收集装置的所述第一列和所述第二列横向地布置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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