[发明专利]氧化硅玻璃坩埚以及使用氧化硅玻璃坩埚的单晶硅生产方法有效
| 申请号： | 201280065350.5 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN104114753B | 公开（公告）日： | 2017-10-10 |
| 发明（设计）人： | 须藤俊明;佐藤忠广;北原江梨子;藤田刚司 | 申请（专利权）人： | 株式会社SUMCO |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C03B20/00;C30B15/10 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙)31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 日本秋田县*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明有效地抑制氧化硅玻璃坩埚的压曲以及侧壁部向坩埚内部的翻倒。另外，抑制在硅单晶上发生位错，从而提高单晶收率。提供一种用于单晶硅的提拉的氧化硅玻璃坩埚，其具备具有上面开口的边缘部的圆筒状的侧壁部、由曲线构成的研钵状的底部、和连接侧壁部和底部的弯曲部。在通过该氧化硅玻璃坩埚的旋转轴的截面上，以弯曲部的内表面的曲率从侧壁部朝向底部的方向缓慢增大的方式设置。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 玻璃 坩埚 以及 使用 单晶硅 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化硅玻璃坩埚，是用于单晶硅的提拉的氧化硅玻璃坩埚，其具备：具有上面开口的边缘部的圆筒状的侧壁部，由曲线构成的研钵状的底部，以及连接所述侧壁部和所述底部的弯曲部，所述弯曲部是指从所述弯曲部的曲线的切线与所述侧壁部重合的点到与所述底部具有共同切线的点的部分，在经过所述氧化硅玻璃坩埚的旋转轴的截面上，所述弯曲部的内表面的曲率以从侧壁部朝向底部的方向缓慢增大的方式设置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社SUMCO，未经株式会社SUMCO许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201280065350.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：作业车辆
- 下一篇：冷轧钢板、镀敷钢板和它们的制造方法
