[发明专利]具有微机电结构和保护元件的芯片及其制造方法无效
| 申请号： | 201280057350.0 | 申请日： | 2012-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN104093661A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | A·费伊 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;H04R19/00;H04R1/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张涛;胡莉莉 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机电芯片(1)，具有衬底(1a)，被构造在衬底(1a)中的微机电结构(1b)，和被布置在衬底(1a)的表面上的保护元件(3)，该保护元件保护微机电结构(1b)免受杂质和/或外部的机械作用。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 微机 结构 保护 元件 芯片 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
微机电芯片(1)，具有：衬底(1a)；被构造在衬底(1a)中的微机电结构(1b)；和被布置在衬底(1a)的表面上的保护元件(3)，该保护元件保护微机电结构(1b)免受杂质和/或外部的机械作用。
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