[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 201280036061.2 | 申请日: | 2012-07-31 |
公开(公告)号: | CN103703565A | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 川上刚史;中木义幸;藤井善夫;渡边宽;中田修平;海老原洪平;古川彰彦 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/12;H01L29/47;H01L29/78;H01L29/861;H01L29/868;H01L29/872 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 于丽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的目的在于提供一种无需高位置精度地形成埋入注入层,具有高耐压并且高可靠性的半导体装置。本发明的半导体装置具备:作为第2导电类型的活性区域的基极2,形成于第1导电类型的半导体层表层,构成半导体元件;作为第2导电类型的多个第1杂质区域的保护环11~保护环16),在半导体层表层,以俯视时分别包围基极2的方式相互离开地形成;以及作为第2导电类型的第2杂质区域的埋入注入层18,被埋入到半导体层表层,连接多个保护环11~保护环16的底部中的至少两个。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,其特征在于,具备:第2导电类型的活性区域(2),形成于第1导电类型的半导体层表层,构成半导体元件;第2导电类型的多个第1杂质区域(11~16),在所述半导体层表层,以俯视时分别包围所述活性区域(2)的方式,相互离开地形成;以及第2导电类型的第2杂质区域(18),被埋入到所述半导体层表层,连接多个所述第1杂质区域(11~16)的底部中的至少两个。
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