[发明专利]具有纳米间隙长度的电极结构的制作方法、通过该方法得到的具有纳米间隙长度的电极结构和纳米器件

摘要

将使金属层（2A、2B）具有间隙且成对地配置的基板（1）浸渍于无电解镀液中，所述无电解镀液是在含有金属离子的电解液中混合还原剂和界面活性剂而制成。利用还原剂将金属离子还原，金属析出于金属层（2A、2B）且界面活性剂附着在金属的表面，形成将间隙的长度控制为纳米尺寸的电极（4A、4B）的对。由此，提供一种使用能够控制间隙长度的偏差且具有纳米间隙长度的电极结构的制作方法，并且利用该制作方法提供一种抑制间隙长度偏差的具有纳米间隙长度的电极结构和具备该电极结构的纳米器件。

主权项

一种具有纳米间隙长度的电极结构的制作方法，其特征在于：将有间隙地且成对地配置有金属层的基板浸渍于通过在含有金属离子的电解液中混入还原剂和界面活性剂而制成的无电解镀液中，由此利用所述还原剂使所述金属离子还原，金属析出于所述金属层且所述界面活性剂附着在该金属的表面，形成将间隙的长度控制为纳米尺寸的电极对。