[发明专利]基板载置用托盘

摘要

基板载置用托盘，可以包括：主体、引导部等。所述主体可以具有具备了载置基板的第一面的平板结构，并且可以由碳‑碳复合材料构成。所述引导部，可以引导所述基板向着所述主体，从而使所述基板载置于各自规定的位置。在太阳能电池基板上形成薄膜时，所述基板载置用托盘可以实施为，在等离子氛围下的高温工序中也可以稳定地维持物理特性，并且可以形成为载置更多数量的基板的大面积。

主权项

一种基板载置用托盘，其特征在于，包括：主体，具有具备了载置基板的第一面的平板结构，并且包括碳‑碳复合材料或石墨；及引导部，引导所述基板向着所述主体，从而使所述基板载置于各自规定的位置；所述引导部包括：贯通袋，露出所述基板的底面；及凸出管脚，从所述贯通袋的内面凸出，来支持所述基板的底面；陶瓷涂层，形成于所述主体的第一面与侧面及所述引导部；所述陶瓷涂层包括：选自由铝氧化物(AlOx)、钇氧化物(YOx)、铝氮化物(AlNx)、硅碳化物(SiCx)构成的群中的一个以上；所述陶瓷涂层，具有100μm至400μm的厚度；所述陶瓷涂层，是利用大气等离子喷涂(APS)涂层工序来形成；所述陶瓷涂层，延长至对向于所述主体的第一面的所述主体的第二面的周边部；包括陶瓷粘接剂的表面处理层，形成于所述陶瓷涂层的具有管脚孔的部分、所述陶瓷涂层的应力所集中的部分或在不形成有所述陶瓷涂层的所述主体的部分；所述陶瓷粘接剂包括：铝氧化物；所述表面处理层，在所述具有管脚孔的部分上涂布所述陶瓷粘接剂后，在100℃至200℃的温度中执行60分钟至180分钟的高温固化工序来形成；通过连接两个以上的所述主体来形成基板载置用托盘的扩展结构；所述基板载置用托盘的扩展结构的所述主体的接触部分上的所述陶瓷涂层的厚度，薄于所述主体的其他部分上的所述陶瓷涂层的厚度；所述主体接触的部分上的所述陶瓷涂层的厚度为100μm至200μm，所述主体的其他部分上的所述陶瓷涂层的厚度为150μm至400μm；在所述主体接触的部分中的一部分上不形成所述陶瓷涂层，从而来使所述基板载置用托盘的扩展结构的主体通电；所述基板载置用托盘的扩展结构还包括连接固定部件，用于固定相互连接的所述主体；所述连接固定部件包括收容部，形成于相互连接的所述主体的上侧端部；插入部，插入到所述收容部；及结合部，从所述主体的底面延长至所述插入部的一部分。