[发明专利]基板载置用托盘

说明书

技术领域

本发明涉及基板载置用托盘。更详细地说是，本发明涉及在太阳能电池基板上形成薄膜时可以以分批式来载置基板的基板载置用托盘。

背景技术

通常，利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）装置来在太阳能电池基板上形成如反射防止膜等的薄膜的工序，会同时对多个基板执行来提升生产性。所述形成薄膜的工序中会使用可载置多个基板的托盘。这种基板载置用托盘，例如，公开有韩国公开专利第2007-0117312号。

所述使用基板载置用托盘的薄膜形成工序中，在所述基板载置用托盘位置的附近形成有热源，例如，在所述基板载置用托盘的下部提供有加热器来加热载置于所述基板载置用托盘的基板，并在约为300℃至700℃的温度中使气体进行反应来在所述基板上形成薄膜。因此，所述基板载置用托盘需要使用在高温中也不会使物理特性低下的材料来制造。以往的基板载置用托盘主要是使用石墨来制造。但是，由石墨构成的以往的基板载置用托盘，在以约5mm至约18mm的厚度为基准具有约为1500mmX500mm程度大小的面积时，在所述薄膜形成工序期间会因为如抗弯强度（flexural strength）的低下的机械特性的劣化导致频繁地发生所述基板载置用托盘的中央部位弯曲的状况。如上所述，所述基板载置用托盘的中央部位弯曲时，会因为无法均匀地构成从所述基板载置用托盘附近的热源的热传达，因此很难在所述基板上均匀地形成薄膜。此外，移送所述基板载置用托盘期间引起的振动导致所述基板载置用托盘上载置的基板发生流动，其结果，甚至会导致发生载置于所述基板载置用托盘的发生破损的状况。此外，以往由石墨构成的基板载置用托盘因为很难具有大面积，很难实现通过一次的薄膜形成工序尽可能在更多的基板上形成薄膜的需求，由此存在生产性相对较低的问题。

另一方面，利用以往的基板载置用托盘的薄膜形成工序中，会经常发生由高温环境、高腐蚀性工序气体及等离子导致的所述基板载置用托盘本身的腐蚀或蚀刻的问题，由此，所述基板载置用托盘的密度会减少且硬度会低下，因此在所述基板载置用托盘的处理时会频繁地发生所述基板载置用托盘破损的状况。即，因为所述基板载置用托盘具有的硬度下降，导致在以往的薄膜形成工序条件下，无法维持所述基板载置用托盘初期的机械特性，因此会发生所述基板载置用托盘破损的问题。

发明内容

（要解决的技术问题）

本发明的目的在于，提供基板载置用托盘，在太阳能电池基板上形成薄膜的期间，在高温中也可以维持稳定的物理特性且可以具有大的面积。（解决问题的手段）

为了达成如上所述本发明的目的，根据本发明的例示性实施例的基板载置用托盘可以具备主体与引导部。所述主体，可以具备载置基板的第一面的平板结构，可以包括碳-碳复合材料或石墨。所述引导部，会向所述主体上引导所述基板来使所述基板分别载置于规定的位置。

例示性实施例中，所述碳-碳复合材料可以包括碳纤维增强复合材料。例如，所述主体可以包括：通过织造所述碳纤维增强复合材料而制造的两层以上叠层的织物。

例示性实施例中，所述主体可以包括：正交异方性叠层强化物，以相异方向叠层两个以上的以一方向将所述碳纤维增强复合材料进行织造的织物。根据另一例示性实施例，所述主体可以包括：平织叠层强化物，叠层两个以上的平织织造的织物。又另一例示性实施例中，所述主体可以包括：斜纹叠层强化物，叠层两个以上斜纹织造的织物。根据又另一例示性实施例，所述主体可以包括：缎纹叠层强化物，叠层两个以上的缎纹织造的织物。

另一例示性实施例中，所述主体可以包括：无纺布叠层强化物，叠层两个以上的以无纺布形状将所述碳纤维强化复合材料进行制造的织物。

例示性实施例中，所述引导部，可以包括：在所述主体以凹雕或凸雕加工的袋部，用于使所述基板分别相互分离并收容。根据又另一例示性实施例，所述引导部，可以包括：管脚，沿所述基本的外周边排列。又另一实施例中，所述引导部，可以包括：贯通袋，露出所述基板的底面；及凸出管脚，从所述贯通袋的内面凸出。例如，所述管脚及所述凸出管脚，分别包括：陶瓷、石墨、碳-碳复合材料、金属、经过阳极化处理（anodizing）的材料、或陶瓷涂层处理的材料等。

例示性实施例中，所述基板载置用托盘，还可以包括：气孔，贯通所述主体，并在所述基板载置于所述规定的位置时，用于向所述基板的底面提供空气；及空气循环部，具备与所述气孔联通的具有槽形状的空气流路。例如，所述空气流路，可以倾斜地形成分别连接于入口与侧面的部分。