[发明专利]热处理装置

摘要

通过控制从加热座的周缘部进入的磁通量的透射，准确控制加热座的面内温度。为具有载置基板的载置面的导电部件，包括：加热座（200），其分为周缘部（210）和包围于该周缘部的内侧部（220），内侧部包括厚板状发热体，周缘部将比内侧部薄的薄板状发热体在互相电绝缘的状态下层叠而构成；和电磁铁（120），其从加热座的侧面在平行于该载置面的方向上形成交流磁场，通过由施加于卷绕于该电磁铁的感应线圈（124）的两个频率的高频电流来控制在各薄板状发热体产生的感应电流而控制磁通量透过内侧部，由此改变各加热座的周缘部的发热量和内侧部的发热量的比例来进行温度控制。

主权项

一种热处理装置，其特征在于，包括：处理室，其对配置于能够减压的处理室内的多个基板实施热处理；加热座，其为具有载置所述基板的载置面的导电部件，被分为周缘部和由该周缘部包围的内侧部，所述内侧部包括厚板状发热体，所述周缘部将比内侧部薄的薄板状发热体以互相电绝缘的状态层叠形成；旋转自由的加热座支承部，其在所述处理室内将所述加热座在垂直于该载置面的方向上隔开间隔排列多个并进行支承；磁场形成部，其包括卷绕有感应线圈且以磁极面与所述加热座的侧面相对的方式配置的电磁铁，在平行于所述加热座的载置面的方向上形成交流磁场来对所述加热座进行感应加热；高频电流电路，其能够对所述感应线圈施加不同的两个频率的高频电流；和控制部，其利用由从所述高频电流电路施加于所述感应线圈的所述两个频率的高频电流，对产生于各个所述薄板状发热体的感应电流进行控制，从而控制至所述内侧部的磁通量的透射，由此来改变所述加热座的所述周缘部的发热量与所述内侧部的发热量的比例，进行温度控制。