[实用新型]旋干机的治具结构

摘要

本实用新型提供一种旋干机的治具结构，包含有治具基板于上设有多个连接件，且每一连接件具有至少一沟槽，治具顶板于上设有多个开槽，治具顶板连接连接件，并且由相邻四连接件的沟槽与其所对应的开槽，构成多个容置腔体，容置腔体用以置放晶圆载具，并且搭配多个对位喷嘴，且环设于旋干机的治具结构周围，向晶圆进行喷气，同时再以多个对位喷嘴搭配连接件，将得以解决气流无法流通晶圆载具的问题，进而以增加晶圆制造的产量。

主权项

一种旋干机的治具结构，用以置放多个晶圆载具，该晶圆载具于顶部及于底部各具有一开口，且每一该晶圆载具可用以置放多个晶圆，其特征在于，该旋干机的治具结构包括： 一治具基板，其上设有多个连接件，且每一该连接件具有至少一沟槽；以及 一治具顶板，其上设有多个开槽，该治具顶板连接所述连接件，并且由相邻四该连接件的该沟槽与其所对应的该开槽，构成多个容置腔体，该容置腔体用以置放该晶圆载具。