[实用新型]一种硅片清洗机及其洗槽有效
| 申请号： | 201220579984.X | 申请日： | 2012-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN202877206U | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 李盼;齐海洋;邵国亮 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片清洗机的洗槽，包括洗槽箱体，还包括设置在洗槽箱体内的缓冲装置，且缓冲装置相对于洗槽箱体的侧壁倾斜预设角度布置。通过在洗槽箱体内放置缓冲装置，并将硅片放置在缓冲装置上，使硅片的一个表面与缓冲装置接触，一个侧边与洗槽箱体的底面接触，因此，增大了硅片与洗槽的接触面积，从而降低了碎片和隐裂的现象，提高了产品的合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 及其 | ||
【主权项】：
一种硅片清洗机的洗槽，包括洗槽箱体，其特征在于，还包括：设置在所述洗槽箱体内的缓冲装置，所述缓冲装置相对于所述洗槽箱体的侧壁倾斜预设角度布置。
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