[实用新型]一种硅片清洗机及其洗槽有效
| 申请号： | 201220579984.X | 申请日： | 2012-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN202877206U | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 李盼;齐海洋;邵国亮 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 及其 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片清洗机的洗槽，包括洗槽箱体，其特征在于，还包括：设置在所述洗槽箱体内的缓冲装置，所述缓冲装置相对于所述洗槽箱体的侧壁倾斜预设角度布置。
2.根据权利要求1所述的洗槽，其特征在于，所述缓冲装置为支撑板。
3.根据权利要求2所述的洗槽，其特征在于，所述支撑板的宽度小于硅片的宽度和/或其长度小于硅片的长度。
4.根据权利要求2所述的洗槽，其特征在于，所述支撑板包括两个重叠布置的支撑分板，且两个所述支撑分板之间设置有弹性件。
5.根据权利要求4所述的洗槽，其特征在于，所述弹性件为弹簧。
6.根据权利要求2所述的洗槽，其特征在于，所述支撑板的用于支撑硅片的表面还设置有弹性层。
7.根据权利要求6所述的洗槽，其特征在于，所述弹性层为硅胶层。
8.根据权利要求1所述的洗槽，其特征在于，所述预设角度为15°-20°。
9.根据权利要求1-8任一项所述的洗槽，其特征在于，所述缓冲装置的一组对边中的一者与所述洗槽箱体的槽底相连，另一者与所述洗槽箱体的侧边相连。
10.一种硅片清洗机，包括洗槽，其特征在于，所述洗槽为权利要求1-9任一项所述的洗槽。
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