[实用新型]一种硅片抛光的悬挂式中心轮结构有效
| 申请号： | 201220469619.3 | 申请日： | 2012-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN202861967U | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 史洪超;胡孟君;徐国科;张世波;何良恩;徐继东;厉惠宏;卢峰;刘建刚;刘亮荣;安卫良 | 申请（专利权）人： | 浙江金瑞泓科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨;孙健 |
| 地址： | 315800 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片抛光的悬挂式中心轮结构，包括中心杆、中心轮和中心轮安装基座，所述的中心杆的下端沿着圆周均匀布置有若干个中心杆安装螺纹孔，所述的中心轮安装基座的上端和下端都沿着圆周均匀布置有若干个基座安装螺纹孔，所述的中心杆的下端通过螺栓穿过中心杆安装螺纹孔和基座安装螺纹孔连接固定有中心轮安装基座，所述的基座安装螺纹孔的下端通过螺栓连接固定有中心轮，所述的中心轮居中布置于下定盘的上方且与下定盘之间留有空隙。本实用新型结构简单，安装方便，降低硅片因中心轮磨损产生损伤的风险，极大的减少了设备部件的加工成本，并且对硅片生产品质有了进一步的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 抛光 悬挂 中心 结构 | ||
【主权项】：
一种硅片抛光的悬挂式中心轮结构，包括中心杆（2）、中心轮（4）和中心轮安装基座（3），其特征在于，所述的中心杆（2）的下端沿着圆周均匀布置有若干个中心杆安装螺纹孔（21），所述的中心轮安装基座（3）的上端和下端都沿着圆周均匀布置有若干个基座安装螺纹孔（31），所述的中心杆（2）的下端通过螺栓穿过中心杆安装螺纹孔（21）和基座安装螺纹孔（31）连接固定中心轮安装基座（3），所述的基座安装螺纹孔（31）的下端通过螺栓连接固定中心轮（4），所述的中心轮（4）居中布置于下定盘（5）的上方且与下定盘（5）之间留有空隙。
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