[实用新型]一种硅片抛光的悬挂式中心轮结构

权利要求书

1.一种硅片抛光的悬挂式中心轮结构，包括中心杆（2）、中心轮（4）和中心轮安装基座（3），其特征在于，所述的中心杆（2）的下端沿着圆周均匀布置有若干个中心杆安装螺纹孔（21），所述的中心轮安装基座（3）的上端和下端都沿着圆周均匀布置有若干个基座安装螺纹孔（31），所述的中心杆（2）的下端通过螺栓穿过中心杆安装螺纹孔（21）和基座安装螺纹孔（31）连接固定中心轮安装基座（3），所述的基座安装螺纹孔（31）的下端通过螺栓连接固定中心轮（4），所述的中心轮（4）居中布置于下定盘（5）的上方且与下定盘（5）之间留有空隙。

2.根据权利要求1所述的一种硅片抛光的悬挂式中心轮结构，其特征在于，所述的中心杆安装螺纹孔（21）与基座安装螺纹孔（31）的数量与尺寸相同。

3.根据权利要求1所述的一种硅片抛光的悬挂式中心轮结构，其特征在于，所述的中心杆（2）的上端套接有一个高度调整法兰（1）。

4.根据权利要求1所述的一种硅片抛光的悬挂式中心轮结构，其特征在于，所述的中心轮（4）呈圆盘形，其上侧中心布置有一个圆台（41），所述的圆台（41）的下端布置有向外延伸的圆形定位环（42），所述的圆形定位环（42）的外沿上沿着圆周均匀开有若干个弧形缺口（43），所述的弧形缺口（43）与需要抛光的硅片的尺寸相配。