[实用新型]一种三瓣壳体附有交替镀件转架的真空镀膜装置

摘要

一种三瓣壳体附有交替镀件转架的真空镀膜装置。它由一固定瓣和两交替轮换瓣组成真空镀膜室；两轮换瓣内附有可扩展的镀件转架，其在于镀件转架上可灵活变换镀件挂轴数量以及电极数量。真空镀膜室分解由三瓣壳体组合构成，由二瓣壳体组合工作，配套双镀件转架实现可连续交替工作。受“伯力努”流体理论启发，采用半圆柱鼎形二瓣壳体组合镀膜室，实现密闭室体平滑连接消除死角，使真空镀膜室的密闭型腔无湍流渦浪涌，大程度限制气浪冲击，限制真空镀膜室的升压率，节省真空达标时间。双镀件转架引用“行星轮系构形”，在轮系的径向处均布排列镀件单元转架，实现自由镀件转架扩展，实现镀件转架任意调速。

主权项

一种三瓣壳体附有交替镀件转架的真空镀膜装置，其包括三瓣壳体镀膜室、可扩展连续交替镀件转架，其特征在于： 所述三瓣壳体镀膜室由固定瓣(1g)和两活动瓣(2h1、2h2)组成；固定瓣(1g)两轴向边对称铰接两活动瓣(2h1、2h2)的各相邻轴向边，两个活动瓣(2h1、2h2)交替轮回与固定瓣(1g)组合成镀膜室，所述三瓣壳体镀膜室的三个瓣(1g)和(2h1、2h2)其轴向截面为半圆壳体，其轴向两端头为半圆鼎形状，其轴向切面附有基体法兰(11)，基体法兰附有(a)密封圈沟槽；所述固定瓣(1g)附有与扩散泵或分子泵连接的大阀法兰接口(12)及密封沟槽，所述固定瓣(1g)的上端附有磁控或蒸发电极连接棒口(444)，所述三瓣壳体镀膜室的内壁附有钢衣； 所述可扩展连续交替镀件转架(3)由调速电机驱动轮(30q)、一次公转轮(3‑2)、一次自转介轮(3‑3)、固定轮(3‑1)、一次自转轮(3‑4)、二次公转轮(3‑5)、二次自转轮(3‑6)、镀件单元转架(3‑7)、镀件接挂转杆(3‑8)、一次自转转杆(3‑9)、可扩展连续交替镀件转架上支撑板轮(5)、磁控或蒸发电极连接棒(44)组成。