[实用新型]一种三瓣壳体附有交替镀件转架的真空镀膜装置

权利要求书

1.一种三瓣壳体附有交替镀件转架的真空镀膜装置，其包括三瓣壳体镀膜室、可扩展连续交替镀件转架，其特征在于： 

所述三瓣壳体镀膜室由固定瓣(1g)和两活动瓣(2h1、2h2)组成；固定瓣(1g)两轴向边对称铰接两活动瓣(2h1、2h2)的各相邻轴向边，两个活动瓣(2h1、2h2)交替轮回与固定瓣(1g)组合成镀膜室，所述三瓣壳体镀膜室的三个瓣(1g)和(2h1、2h2)其轴向截面为半圆壳体，其轴向两端头为半圆鼎形状，其轴向切面附有基体法兰(11)，基体法兰附有(a)密封圈沟槽；所述固定瓣(1g)附有与扩散泵或分子泵连接的大阀法兰接口(12)及密封沟槽，所述固定瓣(1g)的上端附有磁控或蒸发电极连接棒口(444)，所述三瓣壳体镀膜室的内壁附有钢衣； 

所述可扩展连续交替镀件转架(3)由调速电机驱动轮(30q)、一次公转轮(3-2)、一次自转介轮(3-3)、固定轮(3-1)、一次自转轮(3-4)、二次公转轮(3-5)、二次自转轮(3-6)、镀件单元转架(3-7)、镀件接挂转杆(3-8)、一次自转转杆(3-9)、可扩展连续交替镀件转架上支撑板轮(5)、磁控或蒸发电极连接棒(44)组成。 

2.根据权利要求1所述的三瓣壳体附有交替镀件转架的真空镀膜装置，其特征在于所述镀件单元转架(3-7)嵌固于二次公转轮(3-5)之上，之下嵌套一次自转轮(3-4)且附有芯轴一次自转转杆(3-9)；镀件单元转架(3-7)径向任意均布排列3至12个二次自转轮(3-6)并附有芯轴镀件接挂转杆(3-8)；二次自转轮(3-6)由二次公转轮(3-5)驱动； 

所述(3)可扩展连续交替镀件转架通过一次公转轮(3-2)的径向任意均布排列3至12个镀件单元转架(3-7)、其相应配设对3至12个一次自转介轮(3-3)、一次自转轮(3-4)； 

所述磁控或蒸发电极连接棒(44)一端嵌固于固定轮(3-1)，再固定于或活 动瓣(2h1、2h2)上，另一端固定于可扩展连续交替镀件转架上支撑板轮(5)上与固定瓣(1g)上的磁控或蒸发电极连接棒口(444)对接，可多组对3至12个镀件单元转架(3-7)附设。