[实用新型]多晶硅还原生产装置有效
申请号: | 201220443695.7 | 申请日: | 2012-09-03 |
公开(公告)号: | CN202785670U | 公开(公告)日: | 2013-03-13 |
发明(设计)人: | 齐林喜;王晓亮 | 申请(专利权)人: | 内蒙古盾安光伏科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人: | 张群峰;范晓斌 |
地址: | 015543 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 多晶硅还原生产装置,包括:氢气储罐;三氯氢硅储罐;与三氯氢硅储罐连接的第一汽化器和第二汽化器;分别与氢气储罐和第一汽化器连接的第一混合器;与第一混合器连接的第一还原炉;与第一还原炉连接的第一冷凝器;与第二汽化器和第一冷凝器连接的第二混合器;与第二混合器连接的第二还原炉;与第二还原炉连接的第二冷凝器;以及与第一冷凝器和第二冷凝器连接的四氯化硅储罐。本实用新型能够减少在多晶硅生产中的能耗,降低生产成本;同时还有利于提高多晶硅产品的质量。 | ||
搜索关键词: | 多晶 还原 生产 装置 | ||
【主权项】:
一种多晶硅还原生产装置,包括:氢气储罐;三氯氢硅储罐;与三氯氢硅储罐连接的第一汽化器和第二汽化器;分别与氢气储罐和第一汽化器连接的第一混合器;与第一混合器连接的第一还原炉;与第一还原炉连接的第一冷凝器;与第二汽化器和第一冷凝器连接的第二混合器;与第二混合器连接的第二还原炉;与第二还原炉连接的第二冷凝器;以及与第一冷凝器和第二冷凝器连接的四氯化硅储罐。
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