[实用新型]多晶硅还原生产装置有效
| 申请号： | 201220443695.7 | 申请日： | 2012-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN202785670U | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 齐林喜;王晓亮 | 申请（专利权）人： | 内蒙古盾安光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391 | 代理人： | 张群峰;范晓斌 |
| 地址： | 015543 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶 还原 生产 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种多晶硅还原生产装置，包括：
氢气储罐；
三氯氢硅储罐；
与三氯氢硅储罐连接的第一汽化器和第二汽化器；
分别与氢气储罐和第一汽化器连接的第一混合器；
与第一混合器连接的第一还原炉；
与第一还原炉连接的第一冷凝器；
与第二汽化器和第一冷凝器连接的第二混合器；
与第二混合器连接的第二还原炉；
与第二还原炉连接的第二冷凝器；以及
与第一冷凝器和第二冷凝器连接的四氯化硅储罐。
2.根据权利要求1所述的多晶硅还原生产装置，其特征在于，还包括：
与三氯氢硅储罐连接的第三汽化器；
与第三汽化器和第二冷凝器连接的第三混合器；
与第三混合器连接的第三还原炉；以及
与第三还原炉和四氯化硅储罐连接的第三冷凝器。
3.根据权利要求2所述的多晶硅还原生产装置，其特征在于，还包括：
与第三冷凝器连接的二级冷凝器；以及
与二级冷凝器连接的分离系统，
其中，二级冷凝器还与第一汽化器和/或第二汽化器和/或第三汽化器连接，分离系统还与氢气储罐连接。
4.根据权利要求3所述的多晶硅还原生产装置，其特征在于，所述分离系统内设置有氢气压缩机。
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