[实用新型]一种新型混合节能式半导体制程用制冷机有效
| 申请号： | 201220415721.5 | 申请日： | 2012-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN202885325U | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 阮毅 | 申请（专利权）人： | 阮毅 |
| 主分类号： | F25B1/10 | 分类号： | F25B1/10;F25B41/04;F25B41/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京纽乐康知识产权代理事务所 11210 | 代理人： | 苏泳生 |
| 地址： | 210037 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，包括热交换器，所述热交换器包括热交换器一和热交换器二，热交换器一和热交换器二分别连接有蒸发器一和蒸发器二，蒸发器一和蒸发器二连接有两台的压缩机，两台压缩机连接有冷凝器，冷凝器分别连接有电子膨胀阀门和脉宽调制阀门。本实用新型的有益效果为：本实用新型提供的一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，能够根据制程所需功率来控制实时冷媒流量，同时可以控制压缩机的运行台数及其运行功率，由于制冷机在投入制程后不间断的24小时运行，这种混合式的方法可以大幅度地降低能量的消耗，节能环保，同时能够实现长时间无故障运行，确保在高温状态下的安全运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 混合 节能 半导体 制程用 制冷机 | ||
【主权项】：
一种新型混合节能式半导体制程用制冷机，包括热交换器，其特征在于：所述热交换器包括热交换器一（1）和热交换器二（2），热交换器一（1）和热交换器二（2）分别连接有蒸发器一（3）和蒸发器二（4），蒸发器一（3）和蒸发器二（4）均连接有储水罐（5），储水罐（5）的出口处设有冷却剂泵（6），蒸发器一（3）和蒸发器二（4）连接有两台相配合的压缩机（7），两台压缩机（7）连接有冷凝器（10），冷凝器（10）分别连接有电子膨胀阀门（8）和脉宽调制阀门（9），电子膨胀阀门（8）连接蒸发器一（3），脉宽调制阀门（9）连接蒸发器二（4）。
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