[实用新型]一种LED发光二极管外延生长新设备有效
| 申请号： | 201220362219.2 | 申请日： | 2012-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN202705564U | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 庄文荣;孙明 | 申请（专利权）人： | 江苏汉莱科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;H01L33/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种LED发光二极管外延生长新设备，该设备包括电控箱、混气箱、反应腔、传送箱、尾气处理系统，区别于传统的圆柱型反应腔，本实用新型所述的反应腔侧壁不垂直于外延生长载盘，同时反应腔内的尾气排放装置安装于反应腔的下方，并且尾气排放出口为环形结构，从结构上对传统MOCVD进行了改进，使其不但节约了磊晶所用的原料，更改善了MOCVD磊晶的均匀性，提高了磊晶质量，并且解决了传统MOCVD制备芯片尺寸及产率低的局限性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 发光二极管 外延 生长 设备 | ||
【主权项】：
一种LED发光二极管外延生长新设备，包括电控箱、混气箱、反应腔、传送箱、尾气处理系统，其特征在于反应腔侧壁不垂直于外延生长载盘。
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