[实用新型]基于MEMS技术的低频振动加速度传感器系统有效
申请号: | 201220278277.7 | 申请日: | 2012-06-13 |
公开(公告)号: | CN202710599U | 公开(公告)日: | 2013-01-30 |
发明(设计)人: | 杨要恩;王庆敏;李振涛 | 申请(专利权)人: | 石家庄铁路职业技术学院;杨要恩 |
主分类号: | G01P15/097 | 分类号: | G01P15/097 |
代理公司: | 石家庄科诚专利事务所 13113 | 代理人: | 张红卫;左燕生 |
地址: | 050041 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种基于MEMS技术的低频振动加速度传感器系统,包括基于MEMS技术的加速度传感器敏感元件、信号传输线、低通滤波电路和模数转换电路,所述基于MEMS技术的传感器敏感元件的信号输入端用于感应外部结构振动信号,信号输出端通过信号传输线连接低通滤波电路的信号输入端;低通滤波电路的信号输出端通过模数转换电路用于连接数据采集装置的微处理器电路。本实用新型结构简单,测试动态响应好、测试精度高、重复稳定性好、抗干扰能力强。本实用新型适用于对工业测控领域内结构低频振动加速度信号的感知和处理。 | ||
搜索关键词: | 基于 mems 技术 低频 振动 加速度 传感器 系统 | ||
【主权项】:
一种基于MEMS技术的低频振动加速度传感器系统,其特征在于:包括基于MEMS技术的传感器敏感元件、信号传输线、低通滤波电路和模数转换电路; 所述基于MEMS技术的传感器敏感元件的信号输入端用于感应外部结构振动信号,信号输出端通过信号传输线连接低通滤波电路的信号输入端; 低通滤波电路的信号输出端通过模数转换电路用于连接数据采集装置的微处理器电路。
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