[实用新型]一种用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上的硅片传送机构有效

专利信息
申请号: 201220261104.4 申请日: 2012-06-05
公开(公告)号: CN202651080U 公开(公告)日: 2013-01-02
发明(设计)人: 佘鹏程;魏唯;王慧勇;万喜新;吕文利;贾京英 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L31/18;B23K26/36;B23K26/42
代理公司: 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 代理人: 马强
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 实用新型公开了一种用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上的硅片传送机构,属于太阳能电池制造自动化设备领域。为了满足在线式刻蚀工艺的需要,所述硅片传送机构包括支座,装在支座上的横梁,所述横梁的两侧装有侧安装板,该横梁的两端装有端安装板;所述侧安装板装有由电机驱动的同步皮带传送机构,该同步皮带传送机构的皮带轮安装轴上装有主动带轮,该主动带轮通过皮带与装在端安装板上的从动带轮相连。本实用新型可以快速、平稳的实现硅片在设备上的传送,提高设备自动化程度。
搜索关键词: 一种 用于 太阳能电池 激光 边缘 刻蚀 设备 硅片 传送 机构
【主权项】:
一种用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上的硅片传送机构,包括支座(3),装在支座(3)上的横梁(4),其特征是,所述横梁(4)的两侧装有侧安装板(5),该横梁(4)的两端装有端安装板(1);所述侧安装板(5)装有由电机(9)驱动的同步皮带传送机构,该同步皮带传送机构的皮带轮安装轴上装有主动带轮(13),该主动带轮(13)通过皮带与装在端安装板(1)上的从动带轮(11)相连。
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