[实用新型]一种用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上的硅片传送机构有效
申请号: | 201220261104.4 | 申请日: | 2012-06-05 |
公开(公告)号: | CN202651080U | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 佘鹏程;魏唯;王慧勇;万喜新;吕文利;贾京英 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18;B23K26/36;B23K26/42 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 太阳能电池 激光 边缘 刻蚀 设备 硅片 传送 机构 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制造自动化设备领域,尤其涉及一种用于太阳能电池片在进行激光边缘刻蚀工艺时的硅片传送机构。
背景技术
随着太阳能行业的飞速发展,对太阳能电池生产设备的自动化程度也提出了更高的要求,传统的等离子刻蚀工艺存在的崩边、非在线式生产等缺陷日渐显露,在线式刻蚀工艺设备应运而生。激光边缘刻蚀设备作为在线式工艺设备,要求自动化水平高,硅片传送平稳,本实用新型传送机构可满足此要求。
发明内容
本实用新型解决的问题是,根据在线式刻蚀工艺的需要,提供一种可在线式连续传送,结构紧凑,使用寿命长的太阳能电池激光边缘刻蚀设备硅片传送机构。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:
一种用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上的硅片传送机构,包括支座,装在支座上的横梁,其结构特点是,所述横梁的两侧装有侧安装板,该横梁的两端装有端安装板;所述侧安装板装有由电机驱动的同步皮带传送机构,该同步皮带传送机构的皮带轮安装轴上装有主动带轮,该主动带轮通过皮带与装在端安装板上的从动带轮相连。
作为一种具体结构形式,所述同步皮带传送机构的结构为,包括装在侧安装板上的从同步带轮,该从同步带轮通过同步带与装在电机输出轴上的主同步带轮相连。
为了便于传输硅片,所述主动带轮通过平皮带与从动带轮相连。
为了防止皮带变长后出现打滑现象,所述平皮带一侧设有张紧轮。
所述主动带轮与从动带轮的圆周上为圆弧轮面结构,使得平皮带传送具有自动对中功能,且张紧后的平皮带在传送过程中可以自动调整,将平皮带中心与弧面最高位置重合,防止平皮带跑偏。
为了防止皮带在主动带轮或从动带轮上打滑,所述主动带轮与从动带轮的圆周上具有网纹。
所述横梁侧面具有安装槽,该安装槽内通过定位螺钉安装有定位块。调整端安装板张紧平皮带后,可以通过定位块和定位螺钉将端安装板定位,确保平皮带保持张紧状态。
所述端安装板内侧具有与安装槽配合安装的定位凸台,由此,定位凸台可以与横梁侧方安装槽契合,确保横梁两端的带轮完全对正。
所述横梁为两根,每根横梁上装有一组主动带轮和从动带轮。由两组安装支座支撑两根横梁,平行安装,各种带轮均通过各自安装板固定在横梁上。侧安装板和端安装板成对安装在两根横梁两侧的安装槽内,上面安装有主传动轴及平皮带张紧轮,可以根据需要左右调整安装位置,张紧同步带和平皮带。
籍由上述结构,本实用新型通过电机驱动同步带运动,平皮带主动轮和同步带从动轮同轴安装,从而驱动平皮带运动,带动平皮带上的硅片一起移动,达到传送目的。本实用新型由安装架、电机、同步带、同步带轮、平皮带、带轮、侧安装板、端安装板等组成。安装架由两组安装支座支撑两根横梁,平行安装,侧安装板和端安装板安装在横梁侧安装槽内,可以根据需要左右调整安装位置,张紧同步带和平皮带。端安装板内侧设计有定位凸台,可以与横梁侧安装槽契合,确保对应带轮完全对中。调整端安装板张紧平皮带后,可以通过定位块和定位螺钉将端安装板定位,确保平皮带保持张紧状态。主、从动皮带轮采用弧形轮面结构设计,使平皮带在运动过程中具有自动对中功能,张紧后的平皮带在传送过程中可以自动将平皮带中心与弧面最高位置重合,防止平皮带跑偏,弧形轮面中间部位还设计有网纹结构,增加带轮和平皮带的摩擦力,以防皮带打滑。端安装板内侧设计有定位凸台,可以与横梁侧安装槽契合,确保对应带轮完全对正。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上硅片传送,也可满足许多连续式工艺设备的硅片传送要求。本实用新型的传送机构可以快速、平稳的实现硅片在设备上的传送,提高了设备自动化程度,降低了设备成本,提高了生成效率。
下面结合附图对本实用新型做进一步的描述。
附图说明
图1为用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备的硅片传送机构轴测图;
图2为本实用新型所述传送机构端安装板轴测图;
图3为本实用新型所述传送机构主皮带轮平面图。
在图中:
1-端安装板; 2-定位块; 3-支座; 4-横梁;
5-侧安装板; 6-平皮带; 7-主同步带轮; 8-同步带;
9—电机; 10-从动同步带轮; 11—从动带轮; 12—主传动轴;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造