[实用新型]一种用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上的硅片传送机构有效
申请号: | 201220261104.4 | 申请日: | 2012-06-05 |
公开(公告)号: | CN202651080U | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 佘鹏程;魏唯;王慧勇;万喜新;吕文利;贾京英 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18;B23K26/36;B23K26/42 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 太阳能电池 激光 边缘 刻蚀 设备 硅片 传送 机构 | ||
1.一种用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上的硅片传送机构,包括支座(3),装在支座(3)上的横梁(4),其特征是,所述横梁(4)的两侧装有侧安装板(5),该横梁(4)的两端装有端安装板(1);所述侧安装板(5)装有由电机(9)驱动的同步皮带传送机构,该同步皮带传送机构的皮带轮安装轴上装有主动带轮(13),该主动带轮(13)通过皮带与装在端安装板(1)上的从动带轮(11)相连。
2.根据权利要求1所述的用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上的硅片传送机构,其特征是,所述同步皮带传送机构的结构为,包括装在侧安装板(5)上的从同步带轮(10),该从同步带轮(10)通过同步带(8)与装在电机(9)输出轴上的主同步带轮(7)相连。
3.根据权利要求1所述的用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上的硅片传送机构,其特征是,所述主动带轮(13)通过平皮带(6)与从动带轮(11)相连。
4.根据权利要求3所述的用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上的硅片传送机构,其特征是,所述平皮带(6)一侧设有张紧轮(14)。
5.根据权利要求1所述的用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上的硅片传送机构,其特征是,所述主动带轮(13)与从动带轮(11)的圆周上为圆弧轮面结构。
6.根据权利要求1或5所述的用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上的硅片传送机构,其特征是,所述主动带轮(13)与从动带轮(11)的圆周上具有网纹(17)。
7.根据权利要求1所述的用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上的硅片传送机构,其特征是,所述横梁(4)侧面具有安装槽,该安装槽内通过定位螺钉(15)安装有定位块(2)。
8.根据权利要求7所述的用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上的硅片传送机构,其特征是,所述端安装板(1)内侧具有与安装槽配合安装的定位凸台(16)。
9.根据权利要求1所述的用于太阳能电池激光边缘刻蚀设备上的硅片传送机构,其特征是,所述横梁(4)为两根,每根横梁(4)上装有一组主动带轮(13)和从动带轮(11)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造