[实用新型]一种非晶硅薄膜的制作装置

摘要

本实用新型提供了一种非晶硅薄膜的制作装置，所述装置包括玻璃基板、阻抗匹配器和射频发生电源，所述玻璃基板设置在真空腔室中，所述玻璃基板通过阻抗匹配器与射频发生电源相连接。本实用新型通过在制造太阳能电池的玻璃基板上接入一个自动抗干扰、抵消反射功能的阻抗匹配器，将真空腔室激发电极组合成一个负载，当射频电源输出时候，总有一部分虚部部分影响电源的功率输出，根据镀膜的具体条件及电极尺寸，被置于在真空室外的延伸性阻抗匹配器的阻抗，可以被不断地调整，以达到所需的镀膜均匀度。

主权项

一种非晶硅薄膜的制作装置，其特征在于，所述装置包括玻璃基板、阻抗匹配器和射频发生电源，所述玻璃基板设置在真空腔室中，所述玻璃基板通过阻抗匹配器与射频发生电源相连接。