[实用新型]一种非晶硅薄膜的制作装置

权利要求书

1.一种非晶硅薄膜的制作装置，其特征在于，所述装置包括玻璃基板、阻抗匹配器和射频发生电源，所述玻璃基板设置在真空腔室中，所述玻璃基板通过阻抗匹配器与射频发生电源相连接。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述玻璃基板包括等离子体发生区域和边缘绝缘区域，所述边缘绝缘区域覆盖有绝缘层，所述等离子体区域通过引导线与阻抗匹配器相连接。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述玻璃基板包括多个接地电极和多个激发电极板，接地电极和激发电极板间隔设置，所述激发电极板通过引线与阻抗匹配器相连接。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述阻抗匹配器通过夹具卡接到玻璃基板上。