[实用新型]一种用于硅抛光片在异丙醇中干燥的PFA片架有效
| 申请号： | 201220151187.1 | 申请日： | 2012-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN202547297U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 田达晰;张世波;林晓华;李刚;徐国科;王昆鹏;厉惠宏;卢峰;李自炳 | 申请（专利权）人： | 浙江金瑞泓科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/10 | 分类号： | F26B9/10;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨;孙健 |
| 地址： | 315800 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于硅抛光片在异丙醇中干燥的PFA片架，包括框架，所述框架两侧设有侧挡条，所述侧挡条通过4-6根支柱支撑；所述侧挡条上设有多个卡槽条。本实用新型通过改变片架原先的设计形状，改变了卡槽的形状设计和扩大卡槽间的间距来减少硅抛光片在异丙醇干燥过程中残留水迹的保留机会，尽可能的通过异丙醇将硅片表面的水膜置换完全，尤其是降低水膜与片架接触部位的残留机会，从而降低水迹出现的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 抛光 异丙醇 干燥 pfa | ||
【主权项】：
一种用于硅抛光片在异丙醇中干燥的PFA片架，包括框架(9)，所述框架(9)两侧设有侧挡条(6)，其特征在于，所述侧挡条(6)通过4‑6根支柱(7)支撑；所述侧挡条(6)上设有多个开口朝所述框架(9)内侧的卡槽条(5)。
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