[发明专利]感光型聚酰亚胺及负型光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 201210592002.5 | 申请日： | 2012-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN103897185A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 林振隆;许富舜;邱国展 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C08G73/10 | 分类号： | C08G73/10;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： |
本发明提供感光型聚酰亚胺及含有此感光型聚酰亚胺的负型光致抗蚀剂组合物，该感光型聚酰亚胺如式(I)所示： |
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| 搜索关键词： | 感光 聚酰亚胺 负型光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种感光型聚酰亚胺，如式(I)所示：![]()
其中X1和X3为相同或不相同的具有四个共价键的有机官能基团；X2和X4为相同或不相同的具有双共价键的有机官能基团，且其中X2为![]()
以及![]()
的组合；或是![]()
以及![]()
的组合；其中Y1选自下列官能基之一：-O-、-CO-、-S-、-SO2-、-CH2-、-C(CH3)2-、-C(CF3)2-、-(CH2)n1-、-O(CH2)n2O-、-COO(CH2)n3OCO-、![]()
其中n1、n2、n3为1至10的整数；其中R1为OH或COOH；R2选自下列官能基之一：![]()
![]()
以及![]()
其中R为H或CH3，p为1至20的整数，q为1至20的整数；且式(I)中的m和n为重复单元的数目，其中m为10至1000的整数，n为10至1000的整数。
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