[发明专利]微转速传感器以及微转速传感器的操作方法

摘要

本发明公开了一种微转速传感器，包括基底；多个模块；多个锚固件；弹簧；驱动元件；以及传感器元件。模块被分成驱动模块、X‑Y传感器模块或Z传感器模块。X‑Y传感器模块借助于弹簧连接到驱动模块和Z传感器模块，当驱动模块被驱动以沿X方向振荡时，X‑Y传感器模块借助于驱动模块沿X‑Y方向振荡。在一种微转速传感器的操作方法中，驱动模块通过驱动元件驱动以沿X方向振荡，并且X‑Y传感器模块通过到驱动模块的连接驱动以径向地向中心沿X‑Y方向振荡。当基底绕X轴或Y轴出现转速时，X‑Y传感器模块绕Y轴或X轴接合地偏转，并且当基底绕Z轴出现转速时，X‑Y传感器模块绕Z轴旋转并且Z传感器模块沿X方向偏转。

主权项

一种用于检测绕正交轴(x、y、z)多个转速的微转速传感器，所述微转速传感器包括基底(20)；多个模块，所述模块相对于所述基底(20)能够移位并且在平行于所述基底(20)的X‑Y平面内安置；多个锚固件(2、13)，所述锚固件用于将所述模块连接至所述基底(20)；弹簧(4、10)，所述弹簧用于将至少一些所述模块连接到至少一个相邻的模块上或连接到至少一个锚固件(2、13)上；驱动元件，所述驱动元件用于沿X方向振荡至少多个所述模块，以便当所述基底(20)偏转时产生科氏力；以及传感器元件(21)，以便检测由于产生的科氏力导致所述模块的偏转，其特征在于，所述模块分为驱动模块(11)、X‑Y传感器模块(8)或Z传感器模块(12)，所述X‑Y传感器模块(8)借助于弹簧(10)连接到所述驱动模块(11)和所述Z传感器模块(12)上，并且所述X‑Y传感器模块(8)与所述驱动模块(11)之间的连接为使得当所述驱动模块(11)被驱动以沿X方向振荡时，所述X‑Y传感器模块(8)借助于所述驱动模块(11)被驱动以沿X‑Y方向振荡，以使得所述X‑Y传感器模块(8)不沿所述X方向而是沿着X轴与Y轴之间的方向被驱动。