[发明专利]微转速传感器以及微转速传感器的操作方法

权利要求书

1.一种用于检测绕正交轴(x、y、z)多个转速的微转速传感器，所述微转速传感器包括

基底(20)；

多个模块，所述模块相对于所述基底(20)能够移位并且在平行于所述基底(20)的X-Y平面内安置；

多个锚固件(2、13)，所述锚固件用于将所述模块连接至所述基底(20)；

弹簧(4、10)，所述弹簧用于将至少一些所述模块连接到至少一个相邻的模块上或连接到至少一个锚固件(2、13)上；

驱动元件，所述驱动元件用于沿X方向振荡至少多个所述模块，以便当所述基底(20)偏转时产生科氏力；以及

传感器元件(21)，以便检测由于产生的科氏力导致所述模块的偏转，

其特征在于，

所述模块分为驱动模块(11)、X-Y传感器模块(8)或Z传感器模块(12)，

所述X-Y传感器模块(8)借助于弹簧(10)连接到所述驱动模块(11)和所述Z传感器模块(12)上，并且

所述X-Y传感器模块(8)与所述驱动模块(11)之间的连接为使得当所述驱动模块(11)被驱动以沿X方向振荡时，所述X-Y传感器模块(8)借助于所述驱动模块(11)被驱动以沿X-Y方向振荡，以使得所述X-Y传感器模块(8)不沿所述X方向而是沿着X轴与Y轴之间的方向被驱动。

2.根据前一权利要求所述的微转速传感器，其特征在于，所述X-Y传感器模块(8)的驱动方向设置在X轴与Y轴之间。

3.根据权利要求1或2所述的微转速传感器，其特征在于，所述X-Y传感器模块(8)绕中央悬架安置。

4.根据权利要求1或2所述的微转速传感器，其特征在于，所述X-Y传感器模块(8)借助于沿X方向振荡的所述驱动模块(11)能够被驱动以沿径向振荡或偏移离开中心。

5.根据权利要求3所述的微转速传感器，其特征在于，在所述X-Y传感器模块(8)与所述中央悬架之间安置具有绕X轴、Y轴和Z轴旋转轴线的万向悬架(3)。

6.根据权利要求5所述的微转速传感器，其特征在于，弹性的万向悬架(3)包括两个环(5、6)，其中所述两个环借助于彼此偏置的扭曲弹簧(4)而彼此相连。

7.根据权利要求5所述的微转速传感器，其特征在于，每个X-Y传感器模块(8)沿X-Y传感器模块(8)的驱动方向能够移位地但针对X-Y传感器模块(8)离开X-Y平面的运动无法移位地连接到所述万向悬架(3)的外环(6)上。

8.根据权利要求1或2所述的微转速传感器，其特征在于，所述X-Y传感器模块(8)借助于弹簧(10)连接至所述Z传感器模块(12)，以使得当沿X-Y方向发生所述X-Y传感器模块(8)的相对于中心径向的振荡运动和绕Z轴发生所述X-Y传感器模块(8)的振荡旋转运动时，所述Z传感器模块(12)在X-Y平面内大体上沿X方向振荡。

9.根据权利要求1或2所述的微转速传感器，其特征在于，所述X-Y传感器模块(8)借助于弹簧(10)连接至所述Z传感器模块(12)，以使得当沿X-Y方向发生所述X-Y传感器模块(8)的振荡运动时，所述Z传感器模块(12)静止，并且当绕Z轴发生所述X-Y传感器模块(8)的振荡旋转运动时，所述Z传感器模块(12)大体上沿X方向振荡。

10.根据权利要求1或2所述的微转速传感器，其特征在于，在所述X-Y传感器模块(8)之间安置有同步弹簧(9)。

11.根据权利要求1或2所述的微转速传感器，其特征在于，每个所述X-Y传感器模块(8)借助于弹簧(10)连接到至少一个驱动模块(11)和至少一个Z传感器模块(12)上。

12.根据权利要求11所述的微转速传感器，其特征在于，所述驱动模块(11)和/或所述Z传感器模块(12)分别借助于弹簧(10′)安置在至少一个锚固件(13)上。

13.根据权利要求11所述的微转速传感器，其特征在于，设置两个驱动模块(11)或成对的驱动模块(11′)。

14.根据权利要求13所述的微转速传感器，其特征在于，一对驱动模块(11′)中的驱动模块(11)借助于连接弹簧(22)彼此连接。