[发明专利]一种晶圆搬运机器人

摘要

本发明为一种晶圆搬运机器人，其包含：一基座、立柱及线性模组，该线性模组设于该基座，该线性模组包含：U型轨道、一滑块及一螺杆，该螺杆驱动该滑块位移，该U型轨道导引该滑块线性位移，该滑块与该立柱连结，并驱动该立柱位移；该线性模组立时即可校正螺杆及U型轨道之间的相对精度，而不须在机器人的基座中再进行校正，如此亦可简化机器人的内部结构设计，以降低材料的使用及加工的成本。

主权项

一种晶圆搬运机器人，其特征在于，包含:一基座，其包含：一底板、一立板、一立柱及顶板，该立板外型为长条型板状的型态，立板的长方向两端分别与该底板与顶板结合，而形成一ㄇ字型的结构型态，该顶板设有一穿设孔；该立柱，穿设于该穿设孔，并可相对该穿设孔往复位移；一线性模组，其包含：一U型轨道、第一端座、第二端座、一螺杆、一滑块、第一回流系统、第二回流系统、多个第一滚动件及第二滚动件，该U型轨道沿一方向伸长，定义该方向为轴方向，该U型轨道固定于该立板，该U型轨道的内侧面设有直线状的多个第一滚动沟，该第一端座、第二端座分别设于该U型轨道的轴方向两端，该螺杆沿该轴方向延长为长条状结构，该螺杆的轴方向两端分别定义为第一端及第二端，该第一端枢设第一端座，该第二端枢设第二端座，该螺杆的表面设有螺旋状的第二滚动沟，该滑块具有一供该螺杆穿设的贯穿孔，该贯穿孔的内缘面设有相对第二滚动沟的第三滚动沟，该第二滚动沟与第三滚动沟构成第一负荷路径，该第一负荷路径的两端分别与该第一回流系统的两端衔接构成一第一循环路径，该第一循环路径设有多个第一滚动件，该滑块的外表面设有相对该第一滚动沟的第四滚动沟，该第一滚动沟及第四滚动沟构成第二负荷路径，该第二负荷路径的两端分别与该第二回流系统的两端衔接构成一第二循环路径，该第二循环路径设有多个第二滚动件，该滑块与立柱连结；一动力源，其固定于底板，该动力源与螺杆的一端连接并驱动该螺杆旋转；其中，该螺杆经由动力源驱动旋转时，使该滑块作线性位移并带动立柱相对穿设孔位移。