[发明专利]一种晶圆搬运机器人

说明书

技术领域

本发明为一种产业用机器人，尤指一种应用于半导体产业的晶圆搬运机器人。

背景技术

半导体制程中为了减少人力成本及提高产出，利用多种机器人来协助搬运对象，而现有常见的晶圆搬运机器人的机构如中国台湾公告第483807号专利，该案中，立柱装载且固定于一肩座传动件的一旋转部分上，而传动件为支撑于一线性传动件内以使传动件和立柱沿Ｚ轴向线性平移。详言之，线性传动件包含：两轨道、一载架、一滚珠螺杆及一电动机总成，该戴架分别与滚珠螺杆及两轨道连结，该电动机总成与滚珠螺杆连结、并用以转动滚珠螺杆，该轨道用以导引该戴架线性位移，而该滚珠螺杆用以垂直移动载架，载架便而带动该立柱沿Ｚ轴向线性平移；

而前述现有技术存在有以下问题点：

1、借由两轨道及滚珠螺杆驱动立柱位移，于组立前述机构时，因为轨道与滚珠螺杆之间的组立精度会影响立柱位移时的精度，且于这么狭小空间要校正轨道与滚珠螺杆之间的精度是非常不容易的事，所需花费时间较长，相对也增加了机器人的制造成本。

2、因为滚珠螺杆与轨道为分离状态，会因为长时间使用而造成滚珠螺杆与轨道之间的组立精度渐渐降低，相对影响立柱位移的精度。

3、电动机总成所设计的位置容易造成空间浪费，无法让机器人整体体积缩小，且也会增加机器人材料的使用。

发明内容

本发明首要目的在于提供一种晶圆搬运机器人，其具有便于组立的Ｚ轴驱动机构，以降低组立成本及提升质量，从而简化机器人的内部结构设计，以降低材料的使用及加工的成本。

为达上述的目的，本发明的解决方案是：

一种晶圆搬运机器人，包含:

一基座，其包含：一底板、一立板、一立柱及顶板，该立板外型为长条型板状的型态，立板的长方向两端分别与该底板与顶板结合，而形成一ㄇ字型的结构型态，该顶板设有一穿设孔；该立柱，穿设于该穿设孔，并可相对该穿设孔往复位移；

一线性模组，其包含：一U型轨道、第一端座、第二端座、一螺杆、一滑块、第一回流系统、第二回流系统、多个第一滚动件及第二滚动件，该U型轨道沿一方向伸长，定义该方向为轴方向，该U型轨道固定于该立板，该U型轨道的内侧面设有直线状的多个第一滚动沟，该第一端座、第二端座分别设于该U型轨道的轴方向两端，该螺杆沿该轴方向延长为长条状结构，该螺杆的轴方向两端分别定义为第一端及第二端，该第一端枢设第一端座，该第二端枢设第二端座，该螺杆的表面设有螺旋状的第二滚动沟，该滑块具有一供该螺杆穿设的贯穿孔，该贯穿孔的内缘面设有相对第二滚动沟的第三滚动沟，该第二滚动沟与第三滚动沟构成第一负荷路径，该第一负荷路径的两端分别与该第一回流系统的两端衔接构成一第一循环路径，该第一循环路径设有多个第一滚动件，该滑块的外表面设有相对该第一滚动沟的第四滚动沟，该第一滚动沟及第四滚动沟构成第二负荷路径，该第二负荷路径的两端分别与该第二回流系统的两端衔接构成一第二循环路径，该第二循环路径设有多个第二滚动件，该滑块与立柱连结；

一动力源，其固定于底板，该动力源与螺杆的一端连接并驱动该螺杆旋转；

其中，该螺杆经由动力源驱动旋转时，使该滑块作线性位移并带动立柱相对穿设孔位移。

进一步，立板对面设有一辅助立板。

进一步，更包含一载座，其设有一基座面、贯穿该基座面的容置孔及一第二配合面，该基座面与该立柱的底端连结，该容置孔相对立柱所设的容置空间设置，该第二配合面与滑块所设的第一配合面作连结。

进一步，动力源具有一轴心，该轴心设有一第一皮带轮，螺杆的第一端设有第二皮带轮，该第一皮带轮与第二皮带轮借由一皮带套设联结。

进一步，动力源相对容置空间及容置孔设置，立柱缩于基座内部时，该动力源有局部会容置于该容置空间及容置孔。

采用上述结构，本发明可达以下进步性：

1、借由该线性模组的应用，于线性模组组立于该基座前即可先行校正该螺杆及U型轨道的精度，以节省校正精度时的时间，而线性模组独立校正完精度后，即可直接将该线性模组固定于该立柱，并将该载座与该滑块结合即可完成该基座的组立。

2、线性模组为模组化产品，故当其中有组件损坏时，即可迅速的替换整个模组，且不须再次校正相关组件的精度，故非常符合半导体产业快速维修的需求，以降低半导体商停机时所造成的损失。

3、当该立柱缩于该基座内部时，该动力源有局部会容置于该容置空间及容置孔，如此，即可缩小该基座整体的体积，并简化该基座的结构设计。    

附图说明

图1A为本发明晶圆搬运机器人所使用的线性模组组合图；