[发明专利]一种绝缘栅双级晶体管无效
申请号: | 201210526368.2 | 申请日: | 2012-12-07 |
公开(公告)号: | CN103872109A | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 左小珍;张杰;褚为利;赵佳;田晓丽;吴振兴;卢烁今;朱阳军 | 申请(专利权)人: | 上海联星电子有限公司;中国科学院微电子研究所;江苏中科君芯科技有限公司 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王宝筠 |
地址: | 200120 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种IGBT,包括:半导体衬底,所述半导体衬底包括:半导体衬底,所述半导体衬底包括:元胞区,包围所述元胞区的终端区;位于所述元胞区的多个IGBT元胞;位于所述终端区的终端结构,所述终端结构包括:多个场限环,所述多个场限环间隔分布;其中,所述场限环包括:水平部,竖直部,连接所述水平部与竖直部的弧形连接部;所述弧形连接部包括:弧形内边和弧形外边;所有弧形内边以及弧形外边的曲率中心不完全相同。本申请实施例所述IGBT通过设计场限环的结构,进而分散半导体衬底同一个顶角区域电场线的分布,避免了由于电场线过于集中同一导致顶角区域PN结的击穿,提高了IGBT的耐压能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 绝缘 栅双级 晶体管 | ||
【主权项】:
一种IGBT,其特征在于,包括:半导体衬底,所述半导体衬底包括:元胞区,包围所述元胞区的终端区;位于所述元胞区的多个IGBT元胞;位于所述终端区的终端结构,所述终端结构包括:多个场限环,所述多个场限环间隔分布;其中,所述场限环包括:水平部,竖直部,连接所述水平部与竖直部的弧形连接部;所述弧形连接部包括:弧形内边和弧形外边;所有弧形内边以及弧形外边的曲率中心不完全相同。
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