[发明专利]触摸屏传感器用Cu合金配线膜及其制造方法和触摸屏传感器及溅射靶有效
| 申请号： | 201210509951.2 | 申请日： | 2012-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN103151090A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 奥野博行;三木绫;钉宫敏洋 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | H01B1/02 | 分类号： | H01B1/02;C22C9/00;C23C14/34;C23C14/16;G06F3/041 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 翟赟琪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种耐氧化性和密接性优异，电阻小触摸屏传感器用Cu合金配线膜。触摸屏传感器用Cu合金配线膜，含有从Ni、Zn和Mn所构成的群中选择的合金元素的至少一种，合计量0.1～40原子％含，余量是Cu和不可避免的杂质。另外触摸屏传感器用Cu合金配线膜，由含有从Ni、Zn和Mn所构成的群中选择的合金元素的至少一种的Cu合金构成，含有一种所述合金元素时，为Ni：0.1～6原子％，Zn：0.1～6原子％，或Mn：0.1～1.9原子％的任意一种含量，含有两种以上所述合金元素时，合计量为0.1～6原子％(其中，含有Mn时为[((6-x)×2)÷6]原子％以下，式中，x为Ni和Zn的合计添加量)。 | ||
| 搜索关键词： | 触摸屏 传感 器用 cu 合金 配线膜 及其 制造 方法 传感器 溅射 | ||
【主权项】：
一种耐氧化性优异的触摸屏传感器用Cu合金配线膜，其特征在于，在透明导电膜和与所述透明导电膜连接的触摸屏传感器用的配线膜中，所述配线膜具有包括第一层和第二层的层叠构造，其中，所述第一层是以合计量计含有0.1～40原子％的从由Ni、Zn和Mn所构成的群中选择的至少一种的合金元素的Cu合金；所述第二层由纯Cu或以Cu为主成分的Cu合金即电阻率比所述第一层低的Cu合金构成，并且，所述第一层和所述第二层之中的至少一个与所述透明导电膜连接。
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