[发明专利]一种光波导及其制作方法有效
| 申请号： | 201210477659.7 | 申请日： | 2012-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN102944911A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 罗毅;王健;孙长征;熊兵 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/13 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100084 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光波导，包括芯层、下包层和上包层，芯层位于上包层和下包层之间，下包层形状为条形，采用氧化硅材料，芯层位于下包层的正上方；发明提出了三种光波导的制作方法，其核心思想在于首先在硅衬底上制作图形化掩膜，刻蚀后的图形衬底再进行氧化，快速制备较厚的下包层；然后通过调整工艺参数，只在图形凸起区域制作波导芯区；最后沉积波导上包层，从而完成波导的制作。本发明提出的波导结构，兼有低损耗、成膜速率快、制备工艺简单的优点。与本发明相匹配的光波导的制作方法，能够以较快的成膜速率制备包层，大大简化了光波导的制作工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种光波导，包括芯层、下包层和上包层，芯层位于上包层和下包层之间，其特征在于：下包层形状为条形，采用氧化硅材料，芯层位于下包层的正上方。
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