[发明专利]形成一致的刚性互连结构的系统和方法有效
申请号: | 201210414205.5 | 申请日: | 2012-10-25 |
公开(公告)号: | CN103515258A | 公开(公告)日: | 2014-01-15 |
发明(设计)人: | 宋明忠;陈永庆;李建勋;余振华;李明机 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人: | 章社杲;孙征 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种任选地利用引线接合器通过形成一个或多个互连件并将该互连件装配在目标封装件上的装配焊盘上来装配半导体封装件的系统和方法。装配互连件可以包括超声波焊接互连件和装配焊盘,并且可以通过互连件端部上的装配节点来装配该互连件,其中,可以通过电火炬工艺形成该装配节点。任选地,可以使用激光或接触型修整系统将互连件修整成在一个或多个基本上一致的高度上,在修整过程中互连件的尾部可以受到支撑。可以将顶部封装件接合在互连件的修整过的端部上。在装配过程中,可以使用支撑板来支撑封装件,并且在装配互连件的过程中可以使用掩模。本发明还提供了一种形成一致的刚性互连结构的系统和方法。 | ||
搜索关键词: | 形成 一致 刚性 互连 结构 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种制造封装件上封装件组件的方法,包括:提供目标封装件,所述目标封装件具有一个或多个设置在其第一面上的装配焊盘;形成一个或多个互连件,每个互连件均具有位于第一端的装配节点;通过将所述装配节点与所述装配焊盘相接合,来将所述一个或多个互连件中的每一个装配至所述装配焊盘;以及将所述互连件修整至预定高度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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