[发明专利]一种可视化射频阻抗匹配器无效
| 申请号： | 201210390287.4 | 申请日： | 2012-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN102883517A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 孙小孟;李勇滔;李英杰;刘训春;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;北京泰龙电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可视化射频阻抗匹配器，属于半导体工艺设备技术领域。所述可视化射频阻抗匹配器包括检测模块、控制模块、显示模块和阻抗匹配执行模块，检测模块分别与控制模块和阻抗匹配执行模块连接，控制模块与显示模块连接。本发明提供的可视化射频阻抗匹配器，能够在显示屏上实时显示当前阻抗值在Smith圆图上所对应的位置，方便操作者进行实时查看及阻抗匹配调节，减少了匹配调节时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可视化 射频 阻抗 配器 | ||
【主权项】：
一种可视化射频阻抗匹配器，其特征在于，包括检测模块、控制模块、显示模块和阻抗匹配执行模块，所述检测模块分别与控制模块和阻抗匹配执行模块连接，所述控制模块与显示模块连接。
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